DLI Produkte

VERDAMPFER

KEMSTREAM hat die Vapbox Serie entwickelt – eine große Produktpalette an Hochleitungs-Verdampfern und Evaporatoren mit kurzer Reaktionszeit und direkter Flüssigkeitseinspritzung (DLI). Vapbox DLI Verdampfer zeichnen sich durch ihre innovative und urheberrechtlich geschützte Einspritz-Verdampfungs-Technologie (Injektionskopf) sowie ihr optimiertes Verdampfungskammer-Design aus.

Vapbox Geräte generieren reinen Dampf für jede Anwendung, bei der eine reaktive Gasphase aus Flüssigkeit und festen Komponenten oder Vorläuferstoffen, benötigt wird. Vapbox DLI Verdampfer können vom Vakuum bis zum normalen Luftdruck arbeiten. Des Weiteren können sie sowohl reine Flüssigkeiten als auch Flüssigkeiten und Feststoffe in organischem Trägerlösungsmittel oder in Mischungen aus organischen Lösungsmitteln einspritzen und verdampfen. Alle Vapbox DLI Verdampfer verwenden sowohl die innovativen und urheberrechtlich geschützten KEMSTREAM Injektionsköpfe als auch den optimierten Wärmetransfer. Dies garantiert unvergleichliche Resultate basierend auf einer sehr feinen Zerstäubung des gepulsten Flüssigkeitsstroms, der vor Injektion in den Verdampfer mit einem Trägergas gemischt wird. Die gepulste Einspritzung des Trägergases zersprengt die Flüssigkeit im Verdampfer zu extrem kleinen Tröpfchen. Das Trägergas fungiert ebenso als Wärmetransfermedium und leitet Wärmeenergie sehr schnell von den heißen Wänden der Verdampfungskammer zu den Tröpfchen ab, wodurch wiederum eine kontaktfreie Blitzverdampfung begünstigt wird. Somit wird ein chemisch reiner Dampf ohne unerwünschte Zersetzung für den Prozess generiert, während es vermieden wird Partikel und Flüssigkeitströpfchen in den Prozess einzubringen. Da Vapbox Flüssigkeitdirekteinspritz-Verdampfer die Dampfproduktion sehr schnell starten und stoppen können, sind sie fast schon als „Dampf-auf-Abruf“ Systeme zu bezeichnen.

Vapbox Verdampfer sind eigens für die Verdampfung thermisch empfindlicher, teurer Komponenten und Vorläuferstoffe bei niedrigem Dampfdruck ausgelegt. Die Verdampfer sind für eine Menge von 0,1g/min. bis 20g/min. ausgelegt. Vapbox 1500 und Vapbox 4000 können mehr als 15g/min. TEOS (Tetraethylorthosilicat) oder andere siliziumorganische Verbindungen mit ähnlichem Molekulargewicht verdampfen.

ZERSTÄUBER

Atokit DLI Zerstäuber generieren Aerosole für jeden Prozess bei normalem Luftdruck. Des Weiteren können die Aerosole auch im Vakuum oder bei normalem Luftdruck verdampft werden um reinen Dampf für jede Anwendung zu produzieren, bei der eine reaktive Gasphase, aus Flüssigkeit, festen Komponenten und Vorläuferstoffen, benötigt wird. Zu den Anwendungsbereichen zählen unter anderem CVD (Chemical Vapor Deposition) und ALD (Atomic Layer Deposition).

Atokit kann sowohl reine Flüssigkeiten, als auch Mischungen aus Flüssigkeiten und in organischen Lösungsmitteln gelösten Feststoffen, einspritzen und zerstäuben. Ebenso kann Atokit bei bestimmten Prozessen verwendet werden um einen Aerosolfluss in den Prozess einzubringen. Diese Funktion ist möglich bei Spray CVD, Aerosol Assisted CVD (AACVD), Spray-Pyrolyse und Pyrosol-Prozessen. Wird Atokit vom Kunden auf eine Verdampfungskammer installiert, sind CVD und ALD Prozesse mögliche Anwendungen des Atokit DLI Verdampfers.

Alle Atokit Zerstäuber verwenden den innovativen und urheberrechtlich geschützten KEMSTREAM Injektionskopf. Dies ermöglicht optimale Leistungsfähigkeit, basierend auf der sehr feinen Zerstäubung des gepulsten Flüssigkeitsstroms, der vor Einspritzung mit einem Trägergas vermischt wurde. Die gepulste Einspritzung des Trägergases zersprengt die Flüssigkeit in ein Aerosol mit sehr kleinen Tröpfchen. Wenn nun dieses Aerosol in eine Verdampfungskammer eingeleitet wird, fungiert das Trägergas auch als Wärmetransfer-Medium und befördert Wärme sehr schnell von den heißen Verdampfungskammer-Wänden zu den Tröpfchen, was wiederum einen kontaktfreien Blitzverdampfungsprozess fördert. Somit wird ein chemisch reiner Dampf ohne unerwünschte Zersetzung für den Prozess generiert, während es vermieden wird Partikel und Flüssigkeitströpfchen in den Prozess einzubringen. Da Atokit Flüssigkeitsdirekteinspritz-Zerstäuber in Kombination mit einer Verdampfungskammer sehr schnell starten und stoppen können Aerosole zu produzieren, sind sie fast schon als „Dampf-auf-Abruf“ Systeme zu bezeichnen.

VERDAMPFUNGSKAMMERN

KEMSTREAM hat mit Vapcab ein Hochleistungs-Dampfgenerationssystem entwickelt. Es arbeitet vollautomatisch und eigenständig als Dampfgenerator und Dampfdurchfluss-Kontrollsystem. Es lässt sich flexibel Einsetzen und kann individuell konfiguriert werden. Das System verdampft ein Vielzahl verschiedenster Chemikalien und Vorläuferstoffe, reine Flüssigkeiten oder in organischem Lösungsmittel gelöste Feststoffe von niedrigen bis hin zu hohen Durchflussraten. Vapcab ist somit für eine Vielzahl von Prozessen und Anwendungsbereichen einsetzbar.

Vapcab arbeitet vollautomatisch und ist mit PLC (programmierbarer Logic Controller) ausgestattet. PLC ermöglicht die Kontrolle der Temperatur/Durchflussrate (Flüssigkeit und Trägergas), Position der Ventile und Alarmfunktionen.

Der Aufbau des Vapcab Flüssigkeitsverteilers ermöglicht die Verwendung und den sicheren Umgang mit luftempfindlichen und selbstentzündlichen Chemikalien und Vorläuferstoffen. Im Falle fester Chemikalien und Vorläufersubstanzen oder Flüssigkeiten mit niedriger Volatilität, ist der Flüssigkeitsverteiler mit einem Lösungsmitteltank ausgestattet um die Einspritzleitung(en) zu spülen. Die Flüssigkeits- und Gasverteiler verfügen über qualitativ hochwertige Komponenten, welche auch mit Ultra High Purity (UHP) Flüssigkeitsverfahren kompatibel sind.

Vapcab ist das einzig schlüsselfertige System auf dem Markt mit Hochleistungs-Flüssigkeitsdirekteinspritzungs-Verdampfern. Es bietet die perfekte Lösung, falls ein integriertes Dampffluss-Kontrollesystem benötigt wird. Dank seines Hochleistungs-DLI-Verdampfers kann Vapcab präzisen, verlässlichen und stabilen Dampffluss liefern. Das System ist eigens an niedrigen Dampfdruck von flüssigen, festen oder thermosensiblen Chemikalien angepasst.