Anlagentechnik
Ersatzteile
Wir verfügen über große Lagerbestände an verschiedenen Ersatzteilen für diverse Anlagen wie z.B. LAM Research Rainbow™, TCP™, AutoEtch™ und Drytek 384T.
Da sich diese Lagerbestände laufend ändern, kontaktieren Sie uns bitte um das jeweilig benötigte Teil direkt anzufragen unter parts@esl-elektronik.de.
Gerne lassen wir Ihnen aktuelle Lagerbestandslisten zukommen.
VERSCHLEISSTEILE
- O-Ringe
- Filter
- Lager
- Quad-Ringe
- Keramikteile
- Elektroden
- Quarzteile
ANLAGENBAUGRUPPEN
- Harmonic Arm Drives
- RF Matching Units
- Power Supplies
- RF Generatoren
WARTUNGS – KITS
(RAINBOW™, TCP™, AUTOETCH™)
Durch unsere langjährige Erfahrung im Service an Rainbow und TCP Anlagen können wir Ihnen diverse Wartungskits für Ihre Anlagen zusammenstellen, die zu den jeweiligen Zeitpunkten eingebaut werden um optimale Laufzeiten in Ihrer Fabrikation zu erreichen.
- Quarterly PM Kits
- Semi Anual PM Kits
- Anual PM Kits
eBay SHOP
Eine Auswahl verschiedener Ersatzteile finden Sie in unserem eBay Shop.