CS-200 SERIE

Digitale Massedurchflussregler und -messer

• HOHE REINHEIT
• SCHNELLE REAKTIONSZEITEN
• HOHE GENAUIGKEIT
• VIELE SCHNITTSTELLEN
• MULTIGAS & MULTIRANGE
• EXZELLENTE SENSOR STABILITÄT

Die digitalen thermischen Massedurchflussregler der CS-200 Serie sind mit der neuesten Technologie für höchste Genauigkeit, kurze Reaktionszeiten und geringe Nullpunktabweichung ausgestattet. Multigas und Multirange, Auto Zero, Alarm, Soft-Start und Delay-Funktionen sind möglich. Der CS200 MFC bietet verlässliche Leistung und auf lange Sicht eine große Bandbreite an verschiedensten Anwendungsmöglichkeiten.

SevenStar hat sich auf die Entwicklung und Produktion von Massedurchflussreglern und Produkten mit ähnlichen Durchsatz Mengen spezialisiert. Über 30 Jahre Erfahrung auf diesem Gebiet und eine große Verbreitung sowohl in vielen Industriezweigen als auch in der Forschung und Entwicklung bescheren dem Unternehmen eine hohe Reputation auf dem Markt. Jede Spezifikation dieser Serien ist absolut SEMI Standard konform. Verglichen mit analogen Produkten, sind die Vorteile von CS200 MFCs unteranderem Benutzerfreundlichkeit, Multifunktionalität, einfache Kommunikation, gute Erweiterbarkeit und perfekte Kompatibilität. CS200 MFCs besitzen 11 Patentrechte und haben die CE-Kennzeichnung.

CS-200A – ELASTOMER GEDICHTET

• Einsatzbereich: 5 sccm … 50 slm
• Hohe Genauigkeit: ±1.0% SP
• Kurze Reaktionszeit: < 1000msec
• Dichtung: Viton / Neopren
• Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
• Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
• Betriebstemperatur: 0…50°C
• Oberflächengüte: 25µinch Ra

CS-200C – METALL DICHTUNGEN, ELEKTROPOLIERT

…FÜR KORROSIVE GASE

• Einsatzbereich: 2 sccm … 30 slm
• Hohe Genauigkeit: ±1.0% SP
• Kurze Reaktionszeit: < 800msec
• Dichtung: Metall
• Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
• Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
• Betriebstemperatur: 0…50°C
• Oberflächengüte: 10µinch Ra (Elektropoliert)

CS-200D – METALL DICHTUNGEN

…FÜR KORROSIVE GASE

• Einsatzbereich: 2 sccm … 30 slm
• Hohe Genauigkeit: ±1.0% SP
• Kurze Reaktionszeit: < 800msec
• Dichtung: Metall
• Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
• Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
• Betriebstemperatur: 0…50°C
• Oberflächengüte: 25µinch Ra

CS-200H – HOCHTEMPERATUR

…FÜR KORROSIVE GASE / DÄMPFE

• Einsatzbereich: 2 sccm … 30 slm
• Hohe Genauigkeit: ±1.0% SP
• Kurze Reaktionszeit: < 800msec
• Dichtung: Metall
• Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
• Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
• Betriebstemperatur: 0…120°C (Separate Elektronik)
• Oberflächengüte: 10µinch Ra (Elektropoliert)

CS-230A – HIGH FLOW

• Einsatzbereich: 50 … 300 slm
• Hohe Genauigkeit: ±1.0% SP
• Kurze Reaktionszeit: < 2.0sec
• Dichtung: Viton / Neopren
• Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
• Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
• Betriebstemperatur: 0…50°C
• Oberflächengüte: 25µinch Ra

CS-300 SERIE

Digitale PI Massedurchflussregler und -messer

• KURZE REAKTIONSZEIT
• HOHE GENAUIGKEIT
• ALLERHÖCHSTE REINHEIT
• VIELE SCHNITTSTELLEN
• MULTIGAS & MULTIRANGE
• GERINGER PLATZBEDARF (1.125”)
• EXZELLENTE SENSOR STABILITÄT
• DRUCKUNEMPFINDLICHE TECHNOLGIE

Die digitalen thermischen Massedurchflussregler der CS-300 Serie sind mit der neuesten Technologie für höchste Genauigkeit, kurze Reaktionszeiten und geringe Nullpunktabweichung ausgestattet. Multigas und Multirange, Auto Zero, Alarm, Soft-Start und Delay-Funktionen sind möglich. Der CS300 MFC bietet verlässliche Leistung und auf lange Sicht eine große Bandbreite an verschiedensten Anwendungsmöglichkeiten.

SevenStar hat sich auf die Entwicklung und Produktion von Massedurchflussreglern und Produkten mit ähnlichen Durchsatz Mengen spezialisiert. Über 30 Jahre Erfahrung auf diesem Gebiet und eine große Verbreitung sowohl in vielen Industriezweigen als auch in der Forschung und Entwicklung bescheren dem Unternehmen eine hohe Reputation auf dem Markt. Jede Spezifikation dieser Serien ist absolut SEMI Standard konform. Verglichen mit analogen Produkten, sind die Vorteile von CS300 MFCs unteranderem Benutzerfreundlichkeit, Multifunktionalität, einfache Kommunikation, gute Erweiterbarkeit und perfekte Kompatibilität. CS200 MFCs besitzen 11 Patentrechte und haben die CE-Kennzeichnung.

CS-310C – METALL DICHTUNGEN, 1.125”, EP

…FÜR KORROSIVE GASE

• Einsatzbereich: 1 sccm … 30 slm
• Hohe Genauigkeit: ±0.8% SP
• Kurze Reaktionszeit: < 500msec
• Dichtung: Metall
• Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
• Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
• Betriebstemperatur: 0…50°C
• Oberflächengüte: 5µinch Ra (Elektropoliert)
• Druckunempfindlich

D07 SERIE

Analoge Massedurchflussregler/-messer

Der Massedurchflussregler der D07-Serie ist ein analoger Elastomer gedichteter Durchflussregler, der dafür ausgelegt ist, in den unterschiedlichsten Anwendungsbereichen den Durchfluss von Gasen zu messen und zu regeln. Er findet sowohl in die Halbleiterproduktion, Petrochemikalien- und Arzneimittelherstellung als auch in der Vakuum-Dampfabscheidung, Metallindustrie, analytischen Geräteausstattung und Gasverteilungsindustrie Verwendung. Die D07-Serie kann an Stelle der meisten Standard-Massedurchflussregler eingesetzt werden und fügt sich außerdem direkt ohne weitere Umbaumaßnahmen an jene Stelle in eine bestehende Gasleitung ein.

D07-19 – LOW FLOW

• Anwendungsbereich: 5 sccm … 30 slm
• Genauigkeit: ±1% FS / ±2% FS
• Reaktionszeit: 1…4sec
• Dichtung: Viton
• Schnittstellen: 0…5 VDC / 4…20mA
• Versorgungsspannung: ±15 VDC / +24 VDC)
• Betriebstemperatur: 5…45°C

D07-23 – MID FLOW

• Anwendungsbereich: 20 … 250 slm
• Genauigkeit: ±2.0% FS
• Reaktionszeit: 2 sec
• Dichtung: Viton
• Schnittstellen: 0…5 VDC / 4…20mA
• Versorgungsspannung: ±15 VDC / +24 VDC)
• Betriebstemperatur: 5…45°C

D07-60 – HIGH FLOW

• Anwendungsbereich: 300 … 2500 slm
• Genauigkeit: ±2.0% FS
• Reaktionszeit: 10 sec
• Dichtung: Viton
• Schnittstellen: 0…5 VDC / 4…20mA
• Versorgungsspannung: ±15 VDC / +24 VDC)
• Betriebstemperatur: 5…45°C

D08 SERIE

ANZEIGE- BZW. AUSWERTGERÄTE UND STROMVERSORGUNG

Das D08 Durchfluss Ausgabegerät versorgt einen Massedurchflussregler oder -messer mit Strom. Der D08 verfügt über einen Stromanschluss, einen Durchfluss Setpoint und ein Display für Massedurchflussregler oder -messer und ermöglicht somit dem Anwender die Einstellung und Darstellung des Durchflusses für einen einzelnen Massedurchflussregler oder –messer. Der D08 ist als kompaktes digitales oder analoges Ausgabegerät, Desktop Ausgabegerät und Gestell-montiertes Ausgabegerät oder Flussakkumulator erhältlich.

• Stromversorgung mit hoher Genauigkeit
• Bis zu 4 MFC/MFM per Gerät
• 85 – 265 VAC 50/60 Hz
• CE-Kennzeichnung