Nicht umsonst lautet unser Leitspruch service is solution Erfahren Sie mehr über unser breites Produktspektrum und unsere Serviceleistungen.
Seit 1990 beliefern wir Kunden aus den Bereichen Halbleiterproduktion, Beschichtungstechnik, Nanotechnologie, Mikromechanik, Solartechnik, Entwicklung + Forschung, Umweltschutz und vielen weiteren hochtechnischen Sparten.
Wir bieten verlässliche Mess- und Regeltechnik, Ersatzteile für Ihre Anlagen und Prozesstechnik, sowie perfekten Service rund um diese Produkte. Jeder unserer Techniker besitzt langjährige Erfahrung, z. B. in der Halbleiterproduktion (Plasmaätztechnik, Photolacktechnik, Diffusion, Epitaxie), in der Hochfrequenztechnik, Gas-, Mess- und Regeltechnik, Spannungsversorgungstechnik und Vakuumtechnik.

Kundenservice
Wir bieten Ihnen kompletten Service aus einer Hand.
Produkte
Vielfältige Produkte und beständige Verbesserungen für Sie.
Lieferservice
Egal wie groß & schwer, ob regional oder international, wir kümmern uns um Alles.
Ersatzteile
Schneller und passender Ersatz um Ausfallzeiten zu minimieren.
Downloads
Datenblätter, Handbücher, Software und Formulare für Sie bereitgestellt.
Reparaturen
Rundum Service für alle gängigen Produktgruppen und Anlagen.
Unsere Produkt-Highlights
Eine erlesene Auswahl aus unserem Programm

MATTSON RTP2900 (Generalüberholt)
Sämtliche überholte Anlagen durchlaufen unser stetig verbessertes Refurbishment Programm. Zu Ihrer Spezifikation lassen wir Ihnen gerne eine detaillierte Aufstellung mit einem entsprechenden Angebot zukommen. Prozessevaluierung und -entwicklung kann bei Bedarf individuell angeboten werden.
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Rainbow 4520I ISO Module
Pressure Transducer
Ein kleiner und günstiger Druckaufnehmer, der perfekt in die enge Stelle am ISO Modul der Rainbow 4520 passt. Dieser Druckaufnehmer kann auch an anderen Positionen und Kammern eingesetzt werden.
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CS-200A – ELASTOMER GEDICHTET
- Einsatzbereich: 5 sccm … 50 slm
- Hohe Genauigkeit: ±1.0% SP
- Kurze Reaktionszeit: < 1000msec
- Dichtungen: Viton / Neopren
- Schnittstellen: 0…5 VDC, 4…20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
- Versorgungsspannung: ±15 VDC, +24 VDC
- Betriebstemperatur: 0…50°C
- Oberflächengüte: 25µinch Ra
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VAPBOX 4000
Äußerst vielseitiger Hochleistungs-DLI-Verdampfer mit vier urheberrechtlich geschützten Kemstream Injektionsköpfen, der Temperaturen bis zu 250°C erzeugen kann.
- Ein bis vier Injektionsköpfe
- Sechs Heizzonen, bis zu 250°C, 2600 W (230 VAC or 115 VAC)
- 6 Thermopaare Typ K: (1 pro Heizzone)
- Versorgungsspannung: 11.3 A (230 VAC) ; 22.6 A (115 VAC)
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