Anlagentechnik
Produktverbesserungen
Durch unsere langjährige Erfahrung in den verschiedensten Bereichen und Anlagentypen kennen wir die sogenannten Kinderkrankheiten der verschiedensten Anlagen sehr genau. Wir arbeiten kontinuierlich an Verbesserungen der fehlerhaften und schwachen Bauteile um Ihre Anlagen noch zuverlässiger und langlebiger zu machen.
Auch Spezialprojekte zur Umsetzung Ihrer speziellen Wünsche übernehmen wir gerne.
ZIROX O2 SENSOR ASSEMBLY
RTP2800/2900 O2 Sensor Kit
ESL stellt eine völlig unabhängige O2-Sensoreinheit vor. Das Gerät besteht aus hochwertigen, in Deutschland hergestellten Komponenten und verfügt über alle erforderlichen Anschlüsse für eine schnelle Installation.
RORZE ROBOT 711/713
Refurbishment
Bei diesem Refurbishment Programm für alle Rorze RR713 Wafer-Handling-Roboter werden alle wichtigen, mechanisch bewegliche Teile ausgetauscht. Um die Funktionalität des Roboters optimal zu gewährleisten, durchläuft er ein 24stündiges Testprogramm unter den gleichen Bedingungen wie in der Fab.
LAM RESEARCH RAINBOW™ 4520I
ISO Module Pressure Transducer
Ein kleiner und günstiger Druckaufnehmer der perfekt in die enge Stelle am ISO Modul der Rainbow 4520 passt. Dieser Druckaufnehmer kann auch an anderen Positionen und Kammern eingesetzt werden.
LAM RESEARCH RAINBOW™ 4520I
ISO Module Gas Line Insulator
Ersatz für die Isolierte Gaslinie im Rainbow™ 4520 Isotropic Etch Modul. Der verbesserte Isolator wird direkt in den ISO Modul Deckel geschraubt und kann so nicht mehr brechen. Das Upgrade wird mit allen benötigten Teilen geliefert.
LAM RESEARCH RAINBOW™/TCP
Improved Inner & Outer door Assemblies
Gerade im Wartungstunnel der LAM Research Rainbow™ und TCP™ ist Platz Mangelware. Die kleinere, leichtere und dabei mindestens gleich belastbare, verbesserte Tür für die Rainbow/TCP ist leichter zu installieren, bietet mehr Platz für Wartungen, ist leichter einzustellen und hat optische Indikatoren an den Sensoren für leichtere Wartung.
LAM RESEARCH RAINBOW™
ESC Refurbishment
Elektrostatische Elektroden (ESC´s) können bis zu 3 mal überholt werden, bis sie erneuert werden müssen. Die Kosten für den Unterhalt der Anlage (COO) minimieren sich durch diesen Service drastisch. Eine Evaluierung ist möglich.
MATTSON ASPEN II
Throttle Valve
Perfekter Ersatz für die obsoleten Millipore Ventile und ACX Controller. Dieses Ventil ist speziell auf Ihre Aspen II Anlage programmiert und wird mit einem „Plug&Play“ Kabelsatz zur einfachen Installation geliefert.
Weitere Produktverbesserungen für unterschiedliche Anlagen finden Sie in unserem Downloadbereich. Bei Fragen oder Wünschen zu den einzelnen Produkten, rufen Sie uns bitte an oder schreiben Sie uns.