Anlagentechnik

Überblick

Reparaturen

Seit 1995 führen wir Reparaturen und komplette Refurbishments von Baugruppen und Teilen von LAM©, MATTSON©, Gasonics© und Applied Materials© Anlagen durch. Dank unseres ISO9001-2008 zertifizierten Qualitätsmanagements sind wir in der Lage stets höchste Qualität unserer Reparaturen zu garantieren.

    Füllen Sie unser Reparaturformular aus und legen Sie es Ihrer Reparatur bei. Eine genaue Fehlerbeschreibung erleichtert unsere Tests. Nach Überprüfung Ihrer Reparaturanfrage erhalten Sie einen Kostenvoranschlag. Wenn Sie mit unserem Angebot einverstanden sind, senden Sie uns einfach einen schriftlichen Auftrag und Sie erhalten Ihr Teil schnellstmöglich gereinigt, repariert und in der Anlage getestet zurück.

    Eine Liste mit einer Komplettübersicht aller reparierbarer Teile, finden Sie hier.

    Sollten Sie Fragen haben, ein zu reparierendes Teil nicht in der Liste finden oder einen Vorabaustausch wünschen, kontaktieren Sie uns bitte unter: parts@esl-elektronik.de.

    DSC_6525

    LAM® Mini Match

     

    • Neue Silberbeschichtung; neue Potentiometer; neue Kugellager, neue Motoren; neue Zahnräder
    • Test und Generalüberholung von Platinen
    • Test aller HV Kondensatoren (Erneuerung wenn nötig)
    • Einstellung und Kalibrierung anhand von OEM Spezifikationen
    • Finaler Test in unserer TCP Anlage unter reellen Prozessbedingungen
    DSC_6350_6365

    Various LAM® PCB´s

     

    • Test aller Komponenten
    • Erneuerung aller defekten Bauteile
    • Einstellung und Kalibrierung anhand von OEM Spezifikationen
    • Finaler Test in unserer TCP Anlage unter reellen Prozessbedingungen
    DSC_6622

    LAM® T-Matches

    • Neue Silberbeschichtung; neue Potentiometer; neue Kugellager, neue Motoren; neue Zahnräder
    • Test, Generalüberholung und Rekonditionierung von allen variablen HV Kondensatoren (Erneuerung wenn nötig)
    • Einstellung und Kalibrierung anhand von OEM Spezifikationen
    • Spezielle Einstellungen anhand von Kundenwünschen möglich
    • Finaler Plasmatest in unserer TCP Anlage unter reellen Prozessbedingungen
    DSC_6394

    LAM® Endpoint Detectors

    • Erneuerung aller optischen Filter
    • Test und Generalüberholung aller Platinenkomponenten
    • Test der optischen Sensoren (Erneuerung wenn nötig)
    • Einstellung und Kalibrierung anhand von OEM Spezifikationen
    DSC_6562_6470

    Various LAM® mechanical assemblies

    • Neue Kugellager; neue Motoren; neue Sensoren, neue Dichtungen
    • Test und Generalüberholung aller Bauteile
    • Test und Erneuerung aller pneumatischen Teile
    • Einstellung und Kalibrierung anhand von OEM Spezifikationen
    • Finaler Test in unserer TCP Anlage unter reellen Prozessbedingungen