Mess & Regeltechnik
Unsere DLI Verdampfer
KEMSTREAM hat die Vapbox Serie entwickelt – eine große Produktpalette an Hochleitungs-Verdampfern und Evaporatoren mit kurzer Reaktionszeit und direkter Flüssigkeitseinspritzung (DLI). Vapbox DLI Verdampfer zeichnen sich durch ihre innovative und urheberrechtlich geschützte Einspritz-Verdampfungs-Technologie (Injektionskopf) sowie ihr optimiertes Verdampfungskammer-Design aus.
DLI-PRODUKTE
KEMSTREAM produziert innovative und fortschrittliche Verdampfer mit direkter Flüssigkeitseinspritzung (DLI – Direct Liquid Injection) und Zerstäuber für CVD, MOCVD, MOVPE, ALD, Sprühpyrolyse sowie alle Gasphasenprozesse und Vorläuferstoffe. Die Geräte liefern reine, genaue, reproduzierbare und stabile Dampfphasen- und Aerosolflüsse.
DLI-APPLIKATIONEN
Generation von reaktiven Dampfphasen und Aerosolen für die Abscheidung vieler anorganischer Materialien, organischer Polymere und Hybridmaterialien wie Dünnschichten oder Nanoobjekten. Dazu zählen beispielweise Carbon Nanoröhrchen durch CVD (Chemical Vapor Deposition), Spray CVD, Sprühpyrolyse, ALD (Atomic Layer Deposition) und MLD (Molecular Layer Deposition).
DLI-TECHNOLOGIE
KEMSTREAM hat eine einzigartige und patentierte Injektions-Zerstäuber-Technologie entwickelt, die als Grundpfeiler für alle ihre Verdampfer und Zerstäuber mit direkter Flüssigkeitseinspritzung fungiert.