RTP2800A RTP

ESL ist stolz, das neue RTP2800A Rapid Thermal Processing Tool vorstellen zu dürfen.

Aufgrund der geringen Menge an verfügbaren gebrauchten Maschinen auf dem freien Markt haben wir uns entschieden, die alte und veraltete RTP2800 in einen neuen Rahmen mit vielen verschiedenen wertvollen Upgrades einzubauen. Alle prozessrelevanten Teile basieren weiterhin auf der bewährten MATTSON® RTP2800, aber alles andere wurde aufgerüstet und verbessert. Auf diese Weise kann die neue RTP2800A problemlos in Ihr Toolset integriert werden, ohne dass neue Qualifikationen erforderlich sind.

Die RTP2800A eignet sich für die Verarbeitung von 4-8-Zoll-Wafern mit oder ohne Graphitbox, was sie perfekt für verschiedene Anwendungen mit SiC- oder InP-Materialien macht.

Die neue Maschine verfügt über ein neues Kühlsystem für Wasser- und Luftkühlung, einen neuen, leicht zugänglichen Rahmen, ein neues Roboter-/Aligner System, einen neuen Kabelbaum, neue Lampen, neue Netzteile und Steuerkarten sowie einen neuen goldbeschichteten Lampenkäfig.

Anstatt eine komplett neue Maschine zu kaufen, können wir auch eine Aufrüstung einer Ihrer alten Maschinen anbieten. Die jeweilige Maschine muss dafür aus Ihrem Reinraum entfernt und zu uns gesendet werden. Die alte Maschine wird bei uns komplett zerlegt, alle wiederverwendbaren Teile werden überarbeitet und in einem neuen Rahmen mit allen verfügbaren bzw. gewählten Upgrades wieder zusammengebaut und getestet, bevor die nahezu neue Maschine wieder an Sie zurückgeschickt und dort von unseren Technikern installiert wird. Selbstverständlich können wir Sie auch bei Abbau und Wiedereinbringung unterstützen.

Wir sind offizieller Partner von MATTSON Thermal Products und auch für die laufende Unterstützung veralteter Produkte verantwortlich. Eine Unterstützung von Ersatzteilen und Support ist für viele weitere Jahre gewährleistet.

Bitte kontaktieren Sie uns sollten Sie Fragen haben oder weitere Details erfahren wollen.