RTP2800A RTP

Verkauf

ESL ist stolz, das neue RTP2800A Rapid Thermal Processing Tool vorstellen zu dürfen.

Aufgrund der geringen Menge an verfügbaren gebrauchten Werkzeugen auf dem freien Markt haben wir uns entschieden, das alte und veraltete RTP2800 in einen neuen Rahmen mit vielen verschiedenen wertvollen Upgrades einzubauen. Alle prozessbezogenen Teile basieren weiterhin auf dem bewährten MATTSON® RTP2800-Werkzeug, aber alles andere wurde aufgerüstet und verbessert. Auf diese Weise kann das neue RTP2800A problemlos in Ihren Werkzeugsatz integriert werden, ohne dass neue Qualifikationen erforderlich sind.

Das RTP2800A eignet sich für die Verarbeitung von 4-8-Zoll-Wafern mit oder ohne Graphitbox, was es perfekt für verschiedene Anwendungen mit SiC- oder InP-Materialien macht.

Die neue Maschine verfügt über ein neues Kühlsystem für Wasser- und Luftkühlung, einen neuen, leicht zugänglichen Rahmen, ein neues Roboter-/Ausrichterset, einen neuen Kabelbaum, neue Lampen, neue Netzteile und Steuerkarten sowie einen neuen Goldkäfig.

Anstatt ein komplett neues Werkzeug zu kaufen, können wir auch eine Nachrüstung eines Ihrer alten Werkzeuge anbieten. Dieses muss aus Ihrem Reinraum entfernt und an uns gesendet werden. Wir werden es auseinandernehmen, alle Teile aufarbeiten und es im neuen Rahmen und mit allen verfügbaren Upgrades wieder zusammenbauen.

Wir sind offizieller Partner von MATTSON Thermal Products und auch für die laufende Unterstützung veralteter Produkte verantwortlich. Eine Unterstützung von Ersatzteilen und Support ist für viele weitere Jahre gewährleistet.

Bitte kontaktieren Sie uns sollten Sie Fragen haben oder weitere Details erfahren wollen.

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Bewährte Prozesshardware (MATTSON RTP2800), SiC/InP-kompatibel (bis zu 8“), in einen neuen Rahmen eingebaut, kombiniert mit zahlreichen Upgrades und Verbesserungen
  • Verbesserte Luftkühlung
  • Verbesserte Zugänglichkeit
  • Verbesserte Gasbox
  • Verbesserte Wasserkühlung
hinged-frame
Aufklappbarer Rahmen für einfachen Zugang
graphite-box
SiC-kompatible Graphitbox-Handhabung für
Wafer bis zu 8 Zoll
gas-box
Neue Gasbox
hinged-frame

RTP2800A Standard

  • Standardfenster
  • Aufklappbare Bedienerschnittstelle
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RTP2800A Automatisierung

  • Elektrisch betriebene Fenster
  • Rotierende Kassettennester
  • Konstruiert für AGV-Lademöglichkeit